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电科装备实现离子注入机全谱系产品本土化

3月17日，中国电科集团旗下电科装备公司成功实现离子注入机全谱系产品本土化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

中国电子报、电子信息产业网
2021年03月17日
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