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中微公司 5nm 刻蚀机拟下半年发运台积电美国工厂

据上观新闻报道，由中微半导体设备（上海）股份有限公司制造的刻蚀机，将于今年下半年运往台积电美国工厂，用于5nm工艺芯片生产。

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2022年08月02日
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